微型動態滲透水壓力傳感器

本發明公開一種微型動態滲透水壓力傳感器，包括殼體、杯形基底、不銹鋼后蓋、透水石層和信號調制放大模塊；杯形基底內壁具有臺階面，一透水石層安裝于所述杯形基底的臺階面上；杯形基底嵌入所述前置腔內并安裝于所述殼體的臺階圓環面上；不銹鋼后蓋安裝于所述殼體位于后置腔的一端，氮化硅薄膜覆蓋于所述杯形基底的內表面；杯形基底與透水石層相背的表面具有壓力敏感組件，第一引線跨接于所述壓力敏感組件和信號調制放大模塊一端之間，一信號纜嵌入不銹鋼后蓋的通孔內并通過第二引線連接到所述信號調制放大模塊另一端。本發明提高壓力傳感器的動態頻響和測量精度，既大大提升了量程，又提高了感應的精度和靈敏性，且提高了壓力傳感器的信號線性度。