基于巨壓電效應的氧化鋅納米陣列應變傳感器及其測量電路、標定系統和制備方法

本發明公開了一種基于巨壓電效應的氧化鋅納米陣列應變傳感器、測量電路、標定系統及制備方法，包括受力底座和壓電式傳感單元，壓電式傳感單元包括兩個水平方向平行且間隔設置的傳感器芯片；傳感器芯片包括依次層疊設置的基底層、粘合層、氧化鋅種子層、PR窗口層、PDMS保護層、金屬電極層；氧化鋅種子層設有一個下電極；PR窗口層設有深槽，深槽中垂直生長著氧化鋅納米陣列，氧化鋅納米陣列與金屬電極層之間接觸形成應變敏感的肖特基勢壘；金屬電極層設有兩個電極。本發明采用了垂直結構的氧化鋅納米陣列，利用氧化鋅納米陣列與金電極形成的肖特基異質結的巨壓電效應極大地提升了傳感器的靈敏度，實現了更高靈敏度與精確度的應變檢測。