具有不同排列方式的異質結構介電薄膜及其制備方法

本發明公開了一種具有不同排列方式的Ca(Mg1/3Nb2/3)O3/CaTiO3異質結構介電薄膜材料及其制備方法。采用多種不同的復合疊加方式，獲得了具有不同相結構和介電性能的異質結構介電薄膜材料，并證明薄膜層的排列方式對異質薄膜的結構與性能有較大影響。在非周期性重復排列方式中，僅有CaTiO3-CaMg1/3Nb2/3O3排列方式的異質介電薄膜具有單一的鈣鈦礦結構，而且薄膜表面均一致密。周期單元周期性重復排列方式中，改變排列方式不影響薄膜的結構，不同疊層結構均具有單一鈣鈦礦結構，薄膜表面均一致密。相對于非周期重復排列薄膜，周期單元周期性重復排列方式提高了異質薄膜的介電性能，而介電損耗較低。本發明的CaMg1/3Nb2/3O3/CaTiO3異質結構的介電薄膜，適用于薄膜化與小型化的微波通信領域介質元件。